"至于" là động từ, biểu thị đạt đến một mức độ nào đó, phần nhiều dùng trong câu phản vấn. "至于" cũng có thể làm giới từ, dùng trong kết cấu "（A）……，至于（B）……" để biểu thị nêu thêm một việc khác.
Ví dụ
我只是和你开个玩笑，你至于生那么大的气吗？
Tôi chỉ đùa với bạn một chút thôi, bạn cần gì phải nổi giận đến mức đó chứ?
什么？一件衬衫要一千来块钱。哪至于那么贵呢？
Gì cơ? Một chiếc áo sơ mi mà tới cả nghìn tệ. Sao lại đắt đến mức đó chứ?
我只知道他是六班的学生，至于住在哪儿，我就不清楚了。
Tôi chỉ biết cậu ấy là học sinh lớp 6, còn ở đâu thì tôi không rõ.